Почему не /proc занять место на диске?

Потому что это "виртуальная файловая система", и она не хранит данные так же, как файловая система для жесткого диска:

/ proc является особенным в том смысле, что это также виртуальная файловая система. Иногда ее называют псевдофайловой системой с информацией о процессе. Он содержит не "настоящие" файлы, а системную информацию времени выполнения (например, системную память, подключенные устройства, конфигурацию оборудования и т. Д.). По этой причине его можно рассматривать как центр управления и информации для ядра. На самом деле, довольно много системных утилит - это просто вызовы файлов в этом каталоге. Например, "lsmod" - это то же самое, что "cat / proc / modules", а "lspci" - синоним "cat / proc / pci". Изменяя файлы, расположенные в этом каталоге, вы даже можете читать / изменять параметры ядра (sysctl) во время работы системы.

Из Проекта документации Linux; который имеет более полное объяснение proc файловая система и то, на что ссылаются различные части (немного за рамками этого вопроса).

У Red Hat также есть страница с объяснением деталей proc который немного короче и более управляемым. В Википедии также есть некоторая общая информация о procfs,

Поскольку он содержит только (и контролирует) эфемерную информацию, он не занимает места.